Nguyên lý của động cơ-Chuyển động tròn được dẫn động và chênh lệch áp suất
Truyền động động cơ: Máy bơm chân không im lặng thường được điều khiển bởi động cơ điện. Chuyển động tròn của động cơ được chuyển đổi-thông qua các liên kết cơ học-thành chuyển động tịnh tiến hoặc quay trong cụm máy bơm.
Tạo chênh lệch áp suất: Được dẫn động bởi động cơ, các bộ phận cơ khí bên trong của máy bơm (như piston, cánh quay, màng ngăn, v.v.) nén và giãn nở không khí trong buồng bơm, từ đó tạo ra trạng thái chân không (áp suất âm). Trạng thái chân không này thiết lập sự chênh lệch áp suất so với áp suất khí quyển bên ngoài.
Khí nạp và khí thải
Khí nạp: Được điều khiển bởi sự chênh lệch áp suất, khí bên ngoài được hút vào buồng bơm thông qua cổng nạp. Trong trường hợp máy bơm chân không im lặng, cổng nạp có thể được trang bị thiết bị lọc để loại bỏ tạp chất khỏi khí đi vào đồng thời giảm thiểu tiếng ồn.
Nén khí và xả: Khí hút vào buồng bơm được nén bởi các bộ phận cơ khí bên trong và sau đó được thải ra ngoài qua cổng xả. Trong quá trình xả khí, các biện pháp-giảm tiếng ồn-chẳng hạn như sử dụng bộ giảm âm-cũng có thể được triển khai để giảm thiểu mức tiếng ồn hơn nữa.
Thiết kế chuyên dụng cho hoạt động im lặng
Thiết kế-không dầu: Nhiều máy bơm chân không im lặng có thiết kế-không dầu, nghĩa là không sử dụng dầu bôi trơn hoặc chất lỏng bịt kín trong buồng bơm. Thiết kế này không chỉ ngăn chặn sự ô nhiễm của khí xử lý bởi chất bôi trơn mà còn loại bỏ tiếng ồn thường liên quan đến dòng chất lỏng bôi trơn.
Lựa chọn vật liệu: Các bộ phận quan trọng bên trong của máy bơm (chẳng hạn như cánh quạt quay, pít-tông, v.v.) thường được chế tạo từ vật liệu có độ ồn-nhỏ để giảm thiểu tiếng ồn do ma sát và rung động tạo ra.
Tối ưu hóa cấu trúc: Cấu trúc bên trong của máy bơm được tối ưu hóa để giảm nhiễu loạn và dòng điện xoáy khi khí chảy qua hệ thống, từ đó giảm thiểu hiệu quả việc tạo ra tiếng ồn tổng thể.